單晶爐過(guò)濾器濾芯
單晶爐過(guò)濾器濾芯:?jiǎn)尉t是一種在惰性氣體(氮?dú)?、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備
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